Uređaj za rendgensku fotoelektronsku spektroskopiju

• FOCUS 500 - monokromatski izvor X-zraka (Al K_alpha i Ag L_alpha),
• PHOIBOS 100 MCD-5 -100 mm hemisferični analizator elektrona s detektorom od 5 kanala,
• IQE 11/35,
• IQE 12/38- ionski top,
• XYZ manipulator nosača uzoraka s kontroliranim grijanjem i hlađenjem (LN2 – 800^oC),
• turbo pumpa (Pfeiffer) i titanijeva sublimacijska pumpa (Hositrad) za glavnu komoru,
• turbo pumpa (Pfeiffer) za predkomoru,
• zatvoreni sistem vodenog hlađenja za izvor X-zraka i vakuumske turbo pumpe,
• FG 500 - elektronski top za neutralizaciju površine.
• Residual Gas Analyser (Prisma Plus QMG 220)

   Rendgenska fotoelektronska spektroskopija (X-ray Photoelectron Spectroscopy, XPS) ili elektronska spektroskopija za kemijsku analizu (Electron Spectroscopy for Chemical Analysis, ESCA) je analitička tehnika za proučavanje elementalne strukture i kemijskih stanja na površinskim slojevima uzoraka. Primjenjuje se na širokom spektru materijala, od metala i poluvodiča do organskih ili bioloških uzoraka i polimera.

    XPS se temelji na međudjelovanju x-zraka s atomima na površini uzoraka, koje uzrokuje emisiju fotoelektrona s površine. Energije fotoelektrona, koje se analiziraju u elektronskom analizatoru,  karakteristične su za pojedine elemente prisutne unutar volumena pobuđenja. XPS je izrazito površinska tehnika s dubinom uzimanja signala do 70 Å. Uz dodatak izvora ionskih snopova koji na kontrolirani način mogu uklanjati slojeve površine, XPS nalazi široku primjenu u dubinskom elementnom profiliranju uzoraka i mjerenju debljine i uniformnosti tankih filmova.

     Posebnost XPS tehnike leži u mogućnosti određivanja kemijskog stanja detektiranih elemenata na površinama, poput razlikovanja oksidacijskih stanja različitih elemenata.